


典型应用领域
应用领域
应用领域
关键需求
半导体制造
湿法刻蚀、CMP浆料输送
超高纯、耐HF/HNO₃
制药/生物
高纯介质、CIP/SIP系统
无析出、耐蒸汽灭菌
化工工艺
强腐蚀介质、高纯化学品
全系列耐腐蚀、无泄漏
新能源
锂电池电解液、氢氟酸输送
耐有机溶剂、防金属污染
分析仪器
ICP-MS、HPLC流路系统
超低背景值、无记忆效应
技术发展前沿
1. 超高纯制造技术
· 洁净室注塑:Class 10(ISO 4级)环境下生产
· 无模具污染工艺:专用模具表面处理,防止金属迁移
· 在线清洗系统:集成CIP(在位清洗)功能
2. 智能集成技术
· 带传感器阀门:集成温度、压力、流量传感
· 物联网阀门:支持远程监控和预测性维护
· 自清洁阀门:利用PFA不粘特性设计自冲洗结构
3. 材料复合技术
· PFA/PVDF复合:兼顾耐温与机械强度
· 碳纤维增强PFA:提高刚度,用于大口径阀门
· 导电PFA:添加碳纳米管,防静电积聚
阀门类型与结构
| 阀门类型 | 结构特点 | 适用口径 | 耐压等级 |
| 隔膜阀 | PFA阀体+PFA隔膜 | DN8-DN100 | PN10-PN16 |
| 球阀 | PFA衬里+陶瓷/PFA球体 | DN15-DN150 | PN6-PN10 |
| 蝶阀 | PFA衬里+PFA阀瓣 | DN50-DN300 | PN6-PN10 |
| 针阀 | 全PFA结构,精密调节 | DN3-DN25 | PN16-PN25 |
| 止回阀 | PFA阀体+PFA阀瓣 | DN15-DN100 | PN10 |
| 取样阀 | 集成式PFA取样口 | DN15-DN50 | PN16 |
| 气动阀 | PFA阀体+气动执行器 | DN8-DN100 | PN10-PN16 |
关键性能参数表
性能指标
PFA纯树脂阀
PFA衬里阀
PFA涂层阀
测试标准
工作温度(℃)
-200~+260
-50~+200
-30~+150
ASTM D2116
工作压力(MPa)
1.0-1.6
0.6-1.0
0.6-1.0
ISO 8659
密度(g/cm³)
2.12-2.17
2.15-2.20
2.10-2.15
ASTM D792
拉伸强度(MPa)
28-32
25-30
25-28
ASTM D638
弯曲模量(MPa)
700-900
650-800
600-750
ASTM D790
表面粗糙度(μm)
≤0.8
≤1.6
≤3.2
ISO 4288
离子析出(ppb)
≤0.01
≤0.1
≤1.0
SEMI F57
耐化学性能表(连续使用)
化学介质
浓度(%)
温度(℃)
PFA耐受性
备注
氢氟酸
1-49
25-100
优
半导体级
盐酸
≤37
≤100
优
试剂级
硫酸
≤98
≤100
优
发烟硫酸限制
硝酸
硝酸
≤100
优
王水适用
氢氧化钠
≤50
≤100
良
高温浓碱轻微影响
氨水
≤30
≤60
优
-
丙酮
100
25-60
优
无溶胀
甲醇/乙醇
100
25-80
优
-
有机硅
-
≤200
良
高温可能渗透
高纯水
UPW
≤120
优
18.2MΩ·cm
应用选型指南
应用场景
推荐类型
关键配置
使用寿命
半导体湿法设备
全PFA隔膜阀
电解抛光 Ra≤0.4μm,CIP接口
5-8年
制药配液系统
PFA衬里球阀
FDA认证,SIP耐受132℃ 8-10年
x 8-10年
化工强酸输送
PFA衬里蝶阀
厚衬6mm,法兰连接
10年以上
分析仪器流路
微型PFA针阀
1/4"-1/8"活接,手动精密调节
长期
锂电池电解液
全PFA球阀
防静电设计,无金属接触
3-5年
高纯水系统
高纯水系统
超纯水兼容,零析出认证
10年以上
食品添加剂
PFA衬里阀
符合FDA 21 CFR 177.1550
5-8年
特殊功能型PFA阀门
产品类型
特殊设计
功能特点
主要应用
零死角阀门
阀体与管道等径
无残留,100%排空
生物制药,高附加值介质
防静电阀门
添加导电填料
表面电阻10³-10⁶Ω
易燃易爆介质
无菌阀门
隔膜阀+蒸汽屏障
SIP耐受,无菌保证
无菌制剂,发酵系统
高纯取样阀
集成微型阀门
在线取样,无污染
质量控制,过程分析
多路阀/分配阀
多通道PFA阀体
多路分配,无交叉污染
分析仪器,多反应器
带加热阀门
集成伴热带
防结晶,保持流动性
高熔点/高粘度介质
PFA阀门以其卓越的耐腐蚀性、超高纯度、优异的热稳定性和表面特性,已成为苛刻流体处理领域的首选。随着半导体、生物制药、新能源等高科技产业的发展,对PFA阀门的性能要求将不断提高,推动材料技术、制造工艺和智能化水平的持续进步。
注:以上数据基于行业标准和典型应用经验。